Аннотации:
В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном расстоянием и описать поведение плазмы в приэлектродных областях с учетом нагрева газа.