МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ. I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ
                             // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2013 том155 N2

Шнейдер Михаил Наумович; Чебакова Виолетта Юрьевна; Желтухин Виктор Семенович; Абдуллин Ильдар Шаукатович

МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ БОЛЬШИХ МЕЖЭЛЕКТРОДНЫХ РАССТОЯНИЯХ. I. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2013 том155 N2

Абдуллин Ильдар Шаукатович; Желтухин Виктор Семенович; Чебакова Виолетта Юрьевна; Шнейдер Михаил Наумович

URI: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/19981

Date: 2013

Abstract:

В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном расстоянием и описать поведение плазмы в приэлектродных областях с учетом нагрева газа.

Show full item record