МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПОТОКА ВЧ-ПЛАЗМЫ ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ

Abstract

Для исследования процессов в вакуумной камере ВЧ-плазменной установки создана гибридная математическая модель, включающая кинетическое уравнение Больцмана для несущего газа и уравнения неразрывности для частиц плазмы, электронной температуры и электромагнитного поля.

A hybrid mathematical model is developed to study the processes in the vacuum chamber of the RF plasma equipment. The model includes Boltzmann's kinetic equation for the carrier gas and the continuity equations for plasma particles, electron temperature, and the electromagnetic field