Электронный архив
МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПОТОКА ВЧ-ПЛАЗМЫ ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ
- Главная
- →
- Конференции, круглые столы, семинары КФУ
- →
- "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017
- →
- Просмотр элемента
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Показать сокращенную информацию
| dc.contributor | Казанский (Приволжский) федеральный университет | |
| dc.contributor.author | Шемахин А.Ю. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Желтухин В.С. | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2018-01-10T13:48:01Z | |
| dc.date.available | 2018-01-10T13:48:01Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117478 | |
| dc.description.abstract | Для исследования процессов в вакуумной камере ВЧ-плазменной установки создана гибридная математическая модель, включающая кинетическое уравнение Больцмана для несущего газа и уравнения неразрывности для частиц плазмы, электронной температуры и электромагнитного поля. | ru_RU |
| dc.description.abstract | A hybrid mathematical model is developed to study the processes in the vacuum chamber of the RF plasma equipment. The model includes Boltzmann's kinetic equation for the carrier gas and the continuity equations for plasma particles, electron temperature, and the electromagnetic field | en_US |
| dc.relation.ispartofseries | "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 | ru_RU |
| dc.subject | - | ru_RU |
| dc.subject | - | en_US |
| dc.title | МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПОТОКА ВЧ-ПЛАЗМЫ ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ | ru_RU |
| dc.title.alternative | А MATHEMATICAL MODEL OF RF PLASMA FLOW AT LOW PRESSURES | en_US |
| dc.type | article | |
| dc.identifier.udk | - | |
| dc.description.pages | 142-142 |
Файлы в этом документе
Данный элемент включен в следующие коллекции
-
"ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 [232]
материалы Всероссийской (с международным участием) конференции "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП-2017 (Казань,5 - 9 июня 2017 г), 05.06.2017-09.06.2017