ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ КОНВЕРСИЯ ИЗОТОПНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ЛЕТУЧИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ФТОРИДОВ

Abstract

Рассмотрены основные стадии ВЧ и СВЧ плазмохимической водородной конверсии изотопно-обогащенных летучих неорганических фторидов кремния, германия, серы, молибдена и бора в элементарные формы, а для кремния, молибдена и бора также и в карбиды.

Main steps of RF and UHF plasma-chemical hydrogen conversion of isotope-modified volatile inorganic fluorides of Si, Ge, S, Mo, and B to elementary form, and for Si, Mo, and B also to carbides, have been discussed