Показать сокращенную информацию
dc.contributor | Казанский (Приволжский) федеральный университет | |
dc.contributor.author | Сенников П.Г. | ru_RU |
dc.contributor.author | Корнев Р.А. | ru_RU |
dc.date.accessioned | 2018-01-10T13:32:06Z | |
dc.date.available | 2018-01-10T13:32:06Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.identifier.uri | http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117466 | |
dc.description.abstract | Рассмотрены основные стадии ВЧ и СВЧ плазмохимической водородной конверсии изотопно-обогащенных летучих неорганических фторидов кремния, германия, серы, молибдена и бора в элементарные формы, а для кремния, молибдена и бора также и в карбиды. | ru_RU |
dc.description.abstract | Main steps of RF and UHF plasma-chemical hydrogen conversion of isotope-modified volatile inorganic fluorides of Si, Ge, S, Mo, and B to elementary form, and for Si, Mo, and B also to carbides, have been discussed | en_US |
dc.relation.ispartofseries | "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 | ru_RU |
dc.subject | - | ru_RU |
dc.subject | - | en_US |
dc.title | ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ КОНВЕРСИЯ ИЗОТОПНО-МОДИФИЦИРОВАННЫХ ЛЕТУЧИХ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ФТОРИДОВ | ru_RU |
dc.title.alternative | PLASMA-CHEMICAL CONVERSION OF ISOTOPE-MODIFIED VOLATILE INORGANIC FLUORIDES | en_US |
dc.type | article | |
dc.identifier.udk | - | |
dc.description.pages | 209-209 |