Электронный архив

МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОТОКА ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ

Показать сокращенную информацию

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Шемахин Александр Юрьевич ru_RU
dc.contributor.author Желтухин Виктор Семенович ru_RU
dc.date.accessioned 2016-02-08T11:41:50Z
dc.date.available 2016-02-08T11:41:50Z
dc.date.issued 2014
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/33005
dc.description.abstract Разработана математическая модель течения разреженной ВЧ-плазмы в двухкомпонентном приближении. Проведены расчеты основных характеристик потока нейтральной и электронной компонент ВЧ-плазмы пониженного давления. Рассмотрены результаты моделирования. ru_RU
dc.description.abstract Mathematical model of the flow of rarefied RF plasma in a two-component approach is constructed. The calculations of the basic characteristics of the flow of neutral and electron components of the RF plasma at low pressure and the results of the simulation are presented. en_US
dc.relation.ispartofseries Сеточные методы для краевых задач и приложения ru_RU
dc.subject Математическая модель ru_RU
dc.subject ВЧ-плазма ru_RU
dc.subject пониженное давление ru_RU
dc.subject плазмодинамика ru_RU
dc.subject Mathematical model en_US
dc.subject RF plasma en_US
dc.subject low pressure en_US
dc.subject plasma-dynamic. en_US
dc.title МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОТОКА ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ ru_RU
dc.title.alternative SIMULATION THE FLOW OF FREQUENCY PLASMA UNDER LOWER PRESSURE en_US
dc.type article
dc.identifier.udk 533.93
dc.description.pages 296-299


Файлы в этом документе

Icon
Размер: 146.2Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию

Поиск в электронном архиве


Расширенный поиск

Просмотр

Моя учетная запись

Статистика