МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОТОКА ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПРИ ПОНИЖЕННЫХ ДАВЛЕНИЯХ

Abstract

Разработана математическая модель течения разреженной ВЧ-плазмы в двухкомпонентном приближении. Проведены расчеты основных характеристик потока нейтральной и электронной компонент ВЧ-плазмы пониженного давления. Рассмотрены результаты моделирования.

Mathematical model of the flow of rarefied RF plasma in a two-component approach is constructed. The calculations of the basic characteristics of the flow of neutral and electron components of the RF plasma at low pressure and the results of the simulation are presented.