Abstract:
В работе представлена нестационарная математическая модель ВЧЕ-разряда в аргоне при пониженных давлениях с учетом влияния метастабильных атомов. Данная модель актуальна как при небольших межэлектродных расстояниях, так и для расстояний порядка 0.2--0.5~м. Для численной реализации математической модели был создан программный комплекс в среде MatLab. В качестве основных параметров пользователем вводится: межэлектродное расстояние, амплитуда напряжения на генераторе, частота генератора, давление газа, число точек сетки по пространственной и временной осям координат, температура газа на электродах. С помощью программного комплекса рассчитываются распределения концентрации ионов, электронов, метастабильных атомов, атомной и электронной температуры на каждом временном слое, полный ток разряда. Дополнительно пользователь может рассчитать параметры ВЧЕ-разряда, усредненные по периоду колебаний электромагнитного поля. Результаты расчетов могут быть представлены как в графическом, так и в табличном представлении.
