Шемахин Александр Юрьевич; Желтухин Виктор Семенович
(2014)
Разработана математическая модель течения разреженной ВЧ-плазмы в двухкомпонентном приближении. Проведены расчеты основных характеристик потока нейтральной и электронной компонент ВЧ-плазмы пониженного давления. Рассмотрены ...