Abstract:
Разработан новый метод расчета трехмерной структуры
электромагнитных полей в индуктивно-связанной плазме. Метод
основан на разложении электромагнитных полей и проводимости плазмы
на Фурье-гармоники по полярному углу. Рассчитана динамика
изменения трехмерной структуры электромагнитных полей в
индуктивно-связанной плазме, пространственное распределение
потоков энергии в плазму. Показана значительная асимметричность
электромагнитных полей в индуктивно-связанной плазме,
обусловленная асимметричной формой индуктора.