ИССЛЕДОВАНИЕ НАГРЕВА И РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ В
ИМПЛАНТИРОВАННОМ КРЕМНИИ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ СВЕТОВОМ ОБЛУЧЕНИИ
                             // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2010 N3

Фаррахов Булат Фасимович; Фаттахов Яхъя Валиевич; Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович; Захаров Максим Викторович

ИССЛЕДОВАНИЕ НАГРЕВА И РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ В ИМПЛАНТИРОВАННОМ КРЕМНИИ ПРИ ИМПУЛЬСНОМ СВЕТОВОМ ОБЛУЧЕНИИ // Ученые записки КФУ. Физико-математические науки 2010 N3

Фаррахов Булат Фасимович; Галяутдинов Мансур Фаляхутдинович; Фаттахов Яхъя Валиевич; Захаров Максим Викторович

URI: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/19784

Дата: 2010

Аннотации:

В работе предложен и реализован бесконтактный метод исследования динамики нагрева и твердофазной рекристаллизации имплантированных полупроводников непосредственно во время проведения импульсного светового отжига. Данная методика, основанная на регистрации оптических дифракционных сигналов от специальных периодических структур, позволяет с высоким временным разрешением определять такие характеристики, как температура и длительность процесса твердофазной рекристаллизации, время начала плавления ионно-легированного слоя полупроводника.

Показать полную информацию