Аннотации:
Кремниевая фотоника позволяет интегрировать различные оптические компоненты для приложений в линейной и нелинейной оптике, включая телекоммуникации, однофотонные источники света, биосенсоры. Для создания фотонных интегральных схем вместе с нанолазерами, однофотонными источниками, маломощными оптоэлектронными переключателями, высокочувствительными сенсорами необходимыми элементами являются высокодобротные нанофотонные резонаторы. В данной работе проведен расчет добротности, модовой площади, модового объема и фактора Парселла нанофотонного резонатора из кремния и нитрида кремния для генерации высокодобротных резонансных состояний. Численные расчеты проводились с использованием метода FDTD.