Расчет спектральных и модовых характеристик нанофотонного резонатора на основе кремния и нитрида кремния

Abstract

В данной работе проведен расчет добротности, модовой площади и модового объема нанофотонного резонатора из кремния и нитрида кремния для генерации высокодобротных резонансных состояний. Расчеты проводились с использованием детерминистического метода достижения высоких значений добротности. Результаты расчетов согласуются с литературными данными.