Оптимизация параметров нанофотонного резонатора из нитрида кремния с учетом влияния подложки

Abstract

Нанофотонный резонатор с высокой добротностью и малым модовым объемом является перспективной системой для создания оптоэлектронных устройств на чипе и усиления взаимодействия света и вещества. В данной работе проведена оптимизация параметров нанофотонного резонатора из нитрида кремния с учетом влияния подложки. Расчеты проводились с использованием детерминистического метода достижения высоких значений добротности.