Представлены экспериментальные данные о газообразных продуктах взаимодействия плазмы пониженного давления в аргоне с полиарамидом и полиэтилентерефталатом. Получены спектры излучения плазмы и ее электрофизические параметры при различной площади обрабатываемого материала в реакторе. На основе экспериментальных данных выполнено численное моделирование процессов генерации активных частиц плазмы с учетом продуктов гетерогенных реакций, рассчитаны потоки активных частиц на поверхность обрабатываемых материалов.
Experimental data are presented on the gaseous products of the low-pressure argon plasma interaction with polyaramide and polyethylene terephthalate. The emission spectra and plasma electrophysical parameters are given for different areas of the material being treated in the reactor. On the basis of experimental data, numerical simulation of the processes leading to the formation of active plasma species has been carried out, taking into account the products of heterogeneous reactions. The fluxes of active species to the surface of the materials have been calculated.
