ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ СИНТЕЗ РАЗЛИЧНЫХ СТРУКТУРНЫХ И ИЗОТОПНЫХ МОДИФИКАЦИЙ КРЕМНИЯ, ГЕРМАНИЯ, БОРА И МОЛИБДЕНА ИЗ ИХ ЛЕТУЧИХ ГАЛОГЕНИДОВ

Abstract

Сформирован новый подход к созданию технологий получения изотопно-модифицированных веществ и материалов на их основе с помощью плазмохимических методов. В качестве исходных веществ рассматриваются галогениды кремния, германия, бора и молибдена. Исследования проводили в широком диапазоне технологических параметров с использованием различных типов ВЧ и СВЧ разрядов

A new approach to the development of technologies for obtaining isotope-modified substances and materials based on them using plasma chemical methods has been developed. As starting materials, halides of silicon, germanium, boron and molybdenum are considered. The studies were carried out in a broad range of technological parameters using different types of RF and MW discharges