МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТИТАНА ПОТОКАМИ ИОНОВ ИЗ ПЛАЗМЫ ВЧИ РАЗРЯДА

Abstract

Проведены эксперименты по ионной модификации поверхности образцов из титана ВТ1-0 в плазме высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда низкого давления. В зависимости от параметров обработки получены различные варианты развития микрорельефа с характерными масштабами неровностей в диапазоне 0,5-5 мкм.

The ion surface modification experiments have been conducted with samples of VT1-0 titanium in a low-pressure ICP discharge. Depending on the treatment parameters, different surface topography structures have been obtained, with the roughness features in the range of 0.5-5 ?m.