dc.contributor |
Казанский (Приволжский) федеральный университет |
|
dc.contributor.author |
Казиев А. В. |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Колодко Д. В. |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Зибров М. С. |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Степанова Т. В. |
ru_RU |
dc.contributor.author |
Леонова К. А. |
ru_RU |
dc.date.accessioned |
2018-01-11T11:33:02Z |
|
dc.date.available |
2018-01-11T11:33:02Z |
|
dc.date.issued |
2017 |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117582 |
|
dc.description.abstract |
С помощью фильтра Вина (E×B зонда) с системой экстракции экспериментально определен состав ионных потоков в плазме нераспыляющего магнетронного разряда при работе в смеси Ar/CO2 для различных значений мощности разряда. Показано, что содержание ионов металлов в потоке на экстрактор пренебрежимо мало. |
ru_RU |
dc.description.abstract |
The ion flux composition in a non-sputtering magnetron discharge has been experimentally measured by a Wien filter (E×B probe) equipped with an extraction system. It is demonstrated that the metal ion fraction in the extracted flux is negligible. |
en_US |
dc.relation.ispartofseries |
"ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 |
ru_RU |
dc.subject |
- |
ru_RU |
dc.subject |
- |
en_US |
dc.title |
АНАЛИЗ ИОННЫХ ПОТОКОВ В ПЛАЗМЕ НЕРАСПЫЛЯЮЩЕГО МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА |
ru_RU |
dc.title.alternative |
ION FLUX CHARACTERIZATION IN A NON-SPUTTERING MAGNETRON DISCHARGE |
en_US |
dc.type |
article |
|
dc.identifier.udk |
- |
|
dc.description.pages |
182-182 |
|