АНАЛИЗ ИОННЫХ ПОТОКОВ В ПЛАЗМЕ НЕРАСПЫЛЯЮЩЕГО МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДА

Abstract

С помощью фильтра Вина (E×B зонда) с системой экстракции экспериментально определен состав ионных потоков в плазме нераспыляющего магнетронного разряда при работе в смеси Ar/CO2 для различных значений мощности разряда. Показано, что содержание ионов металлов в потоке на экстрактор пренебрежимо мало.

The ion flux composition in a non-sputtering magnetron discharge has been experimentally measured by a Wien filter (E×B probe) equipped with an extraction system. It is demonstrated that the metal ion fraction in the extracted flux is negligible.