НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭКСИМЕРНОГО УФ ИЗЛУЧЕНИЯ РАЗРЯДА

dc.contributor	Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author	Головицкий А.П.	ru_RU
dc.contributor.author	Пелли А.В.	ru_RU
dc.date.accessioned	2018-01-11T09:32:30Z
dc.date.available	2018-01-11T09:32:30Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.uri	http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117561
dc.description.abstract	Посредством численного 1D моделирования емкостного ВЧ разряда в смеси Xe и Cl2 определен оптимальный с точки зрения максимизации мощности и кпд выхода эксимерного УФ излучения состав смеси газов.	ru_RU
dc.description.abstract	The optimal gas mixture composition providing the maximal power and efficacy of UV excimer radiation is found by 1D modeling of capacitive RF discharge in the mixture of Xe and Cl2.	en_US
dc.relation.ispartofseries	"ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017	ru_RU
dc.subject	-	ru_RU
dc.subject	-	en_US
dc.title	НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭКСИМЕРНОГО УФ ИЗЛУЧЕНИЯ РАЗРЯДА	ru_RU
dc.title.alternative	INFLUENCE OF VARIATION OF RF CAPACITIVE DISCHARGE PARAMETERS IN XE - CL2 MIXTURE ON EXCIMER UV RADIATION	en_US
dc.type	article
dc.identifier.udk	-
dc.description.pages	66-66

Файлы в этом документе

Имя: F_FNTP2017_66.pdf

Размер: 395.1Kb

Формат: PDF

"ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 [232]
материалы Всероссийской (с международным участием) конференции "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП-2017 (Казань,5 - 9 июня 2017 г), 05.06.2017-09.06.2017