НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭКСИМЕРНОГО УФ ИЗЛУЧЕНИЯ РАЗРЯДА

Abstract

Посредством численного 1D моделирования емкостного ВЧ разряда в смеси Xe и Cl2 определен оптимальный с точки зрения максимизации мощности и кпд выхода эксимерного УФ излучения состав смеси газов.

The optimal gas mixture composition providing the maximal power and efficacy of UV excimer radiation is found by 1D modeling of capacitive RF discharge in the mixture of Xe and Cl2.