ИЗ ИСТОРИИ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО РАЗРЯДА ПРИ ДАВЛЕНИЯХ 0.1 - 3.0 ТОРР

Abstract

Представлена информация о первых исследованиях высокочастотного емкостного разряда при низких давлениях на частотах 1.0 - 20.0 МГц, проведенных в Казанском авиационном институте в 80-х годах прошлого века.

Provides information about the first studies of the high-frequency capacitive discharge at low pressure, at frequencies of 1.0-20.0 MHz in Kazan Aviation Institute in 80-ies of the last century.