ОБРАТНЫЕ СВЯЗИ В ПЛАЗМЕ ВОЗДУХА, РЕАГИРУЮЩЕЙ С ПОЛИКАРБОНАТОМ

Abstract

Приведены экспериментальные результаты исследований эффекта загрузки при воздействии тлеющего разряда в воздухе на плёнку поликарбоната (ПК). С ростом количества обрабатываемого полимера в плазме уменьшается удельная скорость травления. Скорости выделения газообразных продуктов травления CO2, CO, H2O, H2 также изменяются с увеличением степени загрузки. Температура газа существенно снижается, а приведенная напряженность электрического поля в плазме воздуха увеличивается.

The experimental results of the studies of load effect under glow discharge treatment in the air on a polycarbonate film (PC) are presented. With increasing amount of polymer treated by plasma etching reduced etching rate is decreasing. The rate of release of gaseous products of etching CO2, CO, H2O, H2 are also changing with increasing the amount of polymer in the reactor. Gas temperature varies only slightly, and the reduced electric field intensity decreases in air plasma