КОМПЛЕКСНОЕ ИЗУЧЕНИЕ ОБЪЕМНОЙ ПЛАЗМОХИМИИ ЕМКОСТНЫХ ВЧ-РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ CF4/AR И CHF3/AR

Abstract

Было проведено комплексное экспериментально-теоретическое исследование емкостной плазмы на частоте 81 МГц в смесях Ar/CF4/CHF3 при давлениях 50 мТорр и 150 мТорр. Широкий набор экспериментальных диагностик вместе с одномерной гибридной Монте-Карло моделью на основе метода частиц в ячейках (PIC MC) были применены для исследования плазмы. Такой подход позволил определить сложный химический состав активных частиц в плазме, а также определить потоки ВУФ фотонов.

Multifold experimental and theoretical study of capacitively coupled plasma at 81 MHz in Ar/CF4/CHF3 has been carried out at 50 and 150 mTorr gas pressures. The wide set of experimental diagnostics together with the hybrid PIC MC model calculations were applied to the detailed study of the plasmas. This multifold approach enabled us to determine the complicated plasma chemical composition of active species and the fluxes of VUV photons