Kazan Federal University Digital Repository
ВЧ ИНДУКЦИОННЫЙ РАЗРЯД В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor | Казанский (Приволжский) федеральный университет | |
| dc.contributor.author | Голяева А.Ю. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Товстопят А.В. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Галеев В.А. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Гафаров И.Г. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Шарифулин Ф.С. | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2018-01-10T12:28:22Z | |
| dc.date.available | 2018-01-10T12:28:22Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117408 | |
| dc.description.abstract | Представлена информация о результатах исследования обработки поверхности диэлектриков в ВЧ индукционном разряде на частоте 13,56 МГц при давлениях 13,3 - 66,5 Па. | ru_RU |
| dc.description.abstract | Provides information about the results of the study of dielectrics surfaces processing in RF induction discharge at a frequency of 13,56 MHz at pressures 13,3-66,5 Pa. | en_US |
| dc.relation.ispartofseries | "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 | ru_RU |
| dc.subject | - | ru_RU |
| dc.subject | - | en_US |
| dc.title | ВЧ ИНДУКЦИОННЫЙ РАЗРЯД В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ | ru_RU |
| dc.title.alternative | RF INDUCTIVE DISCHARGE IN PROCESS OF MODIFICATION OF THE DIELECTRIC SURFACE | en_US |
| dc.type | article | |
| dc.identifier.udk | - | |
| dc.description.pages | 163-163 |
Files in this item
This item appears in the following Collection(s)
-
"ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 [232]
материалы Всероссийской (с международным участием) конференции "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП-2017 (Казань,5 - 9 июня 2017 г), 05.06.2017-09.06.2017