ВЧ ИНДУКЦИОННЫЙ РАЗРЯД В ПРОЦЕССАХ МОДИФИКАЦИИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИКОВ

Abstract

Представлена информация о результатах исследования обработки поверхности диэлектриков в ВЧ индукционном разряде на частоте 13,56 МГц при давлениях 13,3 - 66,5 Па.

Provides information about the results of the study of dielectrics surfaces processing in RF induction discharge at a frequency of 13,56 MHz at pressures 13,3-66,5 Pa.