Kazan Federal University Digital Repository

СОЗДАНИЕ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ В МАГНЕТРОНЕ С ГОРЯЧИМ КАТОДОМ

Show simple item record

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Леонова К.А. ru_RU
dc.contributor.author Тумаркин А.В. ru_RU
dc.contributor.author Казиев А.В. ru_RU
dc.contributor.author Колодко Д.В. ru_RU
dc.contributor.author Дробинин В.Е. ru_RU
dc.date.accessioned 2018-01-10T12:26:12Z
dc.date.available 2018-01-10T12:26:12Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117405
dc.description.abstract Проведены эксперименты по высокоскоростному (до 15 мкм/мин) осаждению хромовых покрытий в магнетроне с горячим катодом. Получен устойчивый режим самораспыления. Исследовано влияние метода предварительной очистки поверхности образца, а также потенциала смещения в процессе осаждения на адгезионные характеристики покрытий. ru_RU
dc.description.abstract Chromium coatings have been deposited by high-rate (up to 15 μm/min) magnetron sputtering with hot target. The magnetron was operated in a stable self-sputtering regime. The influence of both the sample cleaning method and the bias potential on the adhesion of Cr films have been studied en_US
dc.relation.ispartofseries "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 ru_RU
dc.subject - ru_RU
dc.subject - en_US
dc.title СОЗДАНИЕ ЗАЩИТНЫХ ПОКРЫТИЙ В МАГНЕТРОНЕ С ГОРЯЧИМ КАТОДОМ ru_RU
dc.title.alternative DEPOSITION OF PROTECTIVE COATINGS IN THE MAGNETRON WITH HOT TARGET en_US
dc.type article
dc.identifier.udk -
dc.description.pages 185-185


Files in this item

Icon
Size: 367.0Kb
Format: PDF
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Statistics