СВЕРХГЛАДКАЯ ПОЛИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ С ПОМОЩЬЮ УСКОРЕННОГО ИОННО-КЛАСТЕРНОГО ПУЧКА АРГОНА

Abstract

Проведено экспериментальное исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхности различных материалов: нержавеющая сталь, плавленый кварц. Получены зависимости основных параметров амплитудной (среднеквадратичная шероховатость Ra) и латеральной (функция спектральной плотности шероховатости, PSD) шероховатости от дозы облучения и среднего размера кластеров. Показана возможность получения сверхгладких поверхностей с субнанометровой шероховатостью.

An experimental investigation of the effect of accelerated argon cluster ion beam on the surface morphology of various materials (stainless steel, fused quartz) has been carried out. The dependencies of the main parameters of the amplitude (toot-mean-square roughness, Ra) and lateral (the function of the spectral density of roughness, PSD) roughness on the irradiation dose and the average cluster size were obtained. The possibility of obtaining super-smooth surface with subnanometer roughness is shown.