Шемахин А.Ю.; Желтухин В.С.
(2017)
Для исследования процессов в вакуумной камере ВЧ-плазменной установки создана гибридная математическая модель, включающая кинетическое уравнение Больцмана для несущего газа и уравнения неразрывности для частиц плазмы, ...