Чебакова Виолетта Юрьевна; АБДУЛЛИН Ильдар Шаукатович; ЖЕЛТУХИН Виктор Семенович; ШНЕЙДЕР Михаил Наумович
(2014)
В работе представлена нестационарная математическая модель ВЧЕ-разряда в аргоне при пониженных давлениях с учетом влияния метастабильных атомов. Данная модель актуальна как при небольших межэлектродных расстояниях, так и ...