Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа

Желтухин Виктор Семенович; Шемахин Александр Юрьевич; Худайбергенов Гамзат Жапарович

dc.contributor	Казанский федеральный университет
dc.contributor.author	Шемахин Александр Юрьевич
dc.contributor.author	Худайбергенов Гамзат Жапарович
dc.contributor.author	Желтухин Виктор Семенович
dc.date.accessioned	2015-10-02T11:51:00Z
dc.date.available	2015-10-02T11:51:00Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	Желтухин В. С., Худайбергенов Г. Ж., Шемахин А. Ю. Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа // Вестник ОмГУ. - 2015. - №2 (76). - С. 30-34.
dc.identifier.issn
dc.identifier.uri	http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/27434
dc.description.abstract
dc.language.iso	ru
dc.relation.ispartofseries	Вестник Омского университета
dc.rights	открытый доступ
dc.subject	аргон-силановая плазма
dc.subject	тлеющий разряд
dc.subject	высокочастотный разряд
dc.subject	осаждение тонких пленок
dc.subject	тонкие пленки аморфного кремния
dc.subject	плазменные струи
dc.subject	математическое моделирование
dc.subject	статистическое моделирование
dc.title	Моделирование течения нейтральной компоненты ВЧ-плазмы в асимметричной вакуумной камере в диапазонах чисел кнудсена 0,3 ≤ Kn ≤ 3 для несущего газа
dc.type	Article
dc.contributor.org	Институт физики
dc.description.pages
dc.relation.ispartofseries-issue	76
dc.relation.ispartofseries-volume	2
dc.pub-id	113771