Аннотации:
В работе приводится описание модели потока ВЧ-плазмы при давлении P = 13.3 ÷ 133 Па в переходном режиме при числе Кнудсена 8·10 ≤ Kn ≤ 7·10. Модель построена на основе статистического подхода. Приведены результаты
расчета течения нейтральной компоненты плазмы в невозмущенном потоке и при наличии в струе образца.