Kazan Federal University Digital Repository
РАЗРАБОТКА ФИЗИЧЕСКИХ ОСНОВ ВЧ-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПРИМЕНИТЕЛЬНО К ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИМ МАТЕРИАЛАМ
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor | Казанский (Приволжский) федеральный университет | |
| dc.contributor.author | Тарасов Данил Сергеевич | ru_RU |
| dc.contributor.author | Шемахин Александр Юрьевич | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2024-06-05T06:14:38Z | |
| dc.date.available | 2024-06-05T06:14:38Z | |
| dc.date.issued | 2024 | |
| dc.identifier.uri | https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/183863 | |
| dc.relation.ispartofseries | ИТОГОВАЯ НАУЧНО-ПРАКТИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПРОФЕССОРСКО-ПРЕПОДАВАТЕЛЬСКОГО СОСТАВА ИНСТИТУТА ФИЗИКИ КАЗАНСКОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА | ru_RU |
| dc.subject | ВЧ-плазма | ru_RU |
| dc.subject | математическое моделирование | ru_RU |
| dc.subject | понижен- ное давление | ru_RU |
| dc.title | РАЗРАБОТКА ФИЗИЧЕСКИХ ОСНОВ ВЧ-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ПРИМЕНИТЕЛЬНО К ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИМ МАТЕРИАЛАМ | ru_RU |
| dc.type | article | |
| dc.identifier.udk | 533.9.072 | |
| dc.description.pages | 70-70 |
Files in this item
This item appears in the following Collection(s)
-
ИТОГОВАЯ НАУЧНО-ПРАКТИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПРОФЕССОРСКО-ПРЕПОДАВАТЕЛЬСКОГО СОСТАВА ИНСТИТУТА ФИЗИКИ
КАЗАНСКОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА [86]
Сборник избранных тезисов, 23.01.2024-06.02.2024