СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ
ПЛЕНКИ ОКСИНИТРИДА ЦИРКОНИЯ ZrOxNy
КАК ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРЫ

Янилкин Игорь Витальевич; Юсупов Роман Валерьевич; Краснов Матвей Александрович; Гумаров Амир Илдусович; Рогов Алексей Михайлович

dc.contributor	Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author	Краснов Матвей Александрович	ru_RU
dc.contributor.author	Янилкин Игорь Витальевич	ru_RU
dc.contributor.author	Гумаров Амир Илдусович	ru_RU
dc.contributor.author	Рогов Алексей Михайлович	ru_RU
dc.contributor.author	Юсупов Роман Валерьевич	ru_RU
dc.date.accessioned	2024-06-04T13:56:43Z
dc.date.available	2024-06-04T13:56:43Z
dc.date.issued	2024
dc.identifier.uri	https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/183842
dc.relation.ispartofseries	ИТОГОВАЯ НАУЧНО-ПРАКТИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПРОФЕССОРСКО-ПРЕПОДАВАТЕЛЬСКОГО СОСТАВА ИНСТИТУТА ФИЗИКИ КАЗАНСКОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА	ru_RU
dc.subject	оксинитрид циркония	ru_RU
dc.subject	тонкая пленка	ru_RU
dc.subject	терморезистор	ru_RU
dc.title	СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНКИ ОКСИНИТРИДА ЦИРКОНИЯ ZrOxNy КАК ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРЫ	ru_RU
dc.type	article
dc.identifier.udk	681.586.36
dc.description.pages	41-41