Gas dynamic characteristics of glow discharge chamber for functional coating deposition

dc.contributor.author	Israphilov D.
dc.date.accessioned	2018-09-19T21:36:16Z
dc.date.available	2018-09-19T21:36:16Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.issn	1742-6588
dc.identifier.uri	https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/144194
dc.description.abstract	© Published under licence by IOP Publishing Ltd.In article shown conditions of glow discharge existence at low pressures. Described possibility of organizing glow discharge at very low pressures due to the supersonic gas flow in a limited area of the discharge chamber. Procedure of supersonic flow regime calculating in vacuum chamber for coating deposition shown.
dc.relation.ispartofseries	Journal of Physics: Conference Series
dc.title	Gas dynamic characteristics of glow discharge chamber for functional coating deposition
dc.type	Conference Paper
dc.relation.ispartofseries-issue	1
dc.relation.ispartofseries-volume	789
dc.collection	Публикации сотрудников КФУ
dc.source.id	SCOPUS17426588-2017-789-1-SID85014589161

Файлы в этом документе

Размер: 46.06Kb

Формат: PDF

Публикации сотрудников КФУ Scopus [24551]
Коллекция содержит публикации сотрудников Казанского федерального (до 2010 года Казанского государственного) университета, проиндексированные в БД Scopus, начиная с 1970г.