Электронный архив

Fabrication of nanoporous silicon by ion implantation

Показать сокращенную информацию

dc.contributor.author Kavetskyy T.
dc.contributor.author Stepanov A.
dc.date.accessioned 2018-09-18T20:37:54Z
dc.date.available 2018-09-18T20:37:54Z
dc.date.issued 2015
dc.identifier.uri https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/141901
dc.description.abstract © Springer Science+Business Media Dordrecht 2015. Ion implantation is an advanced new technological method for the fabrication of nanoporous silicon material with metal nanoparticles. The methodology of this technique is developed by Ag+-ion implantation with an energy of 30 keV and a dose of 1.5·1017ion/cm2into a polished monocrystalline silicon substrate. By using Raman spectroscopy, SEM and AFM measurements it is found that amorphous layers of porous silicon (PSi) with an average size of the porous holes on the order of 150–180 nm, a depth of about 100 nm and a wall thickness of about 30–60 nm are formed on the Si surface as a result of ion irradiation. Ion implantation is also applied to locally modify the surface of Si to create periodic plasmonic PSi microstructures with Ag nanoparticles with a diameter of 5–10 nm. The results obtained clearly demonstrate how low-energy ions can be used for the fabrication of photonic microstructures on Si surfaces in a single-step process, similarly as it was recently done for Cu+-ion implanted silica glass.
dc.subject Ion implantation
dc.subject Nanoporous silicon
dc.subject Silver nanoparticles
dc.title Fabrication of nanoporous silicon by ion implantation
dc.type Chapter
dc.collection Публикации сотрудников КФУ
dc.relation.startpage 35
dc.source.id SCOPUS-2015-SID84944207259


Файлы в этом документе

Данный элемент включен в следующие коллекции

  • Публикации сотрудников КФУ Scopus [24551]
    Коллекция содержит публикации сотрудников Казанского федерального (до 2010 года Казанского государственного) университета, проиндексированные в БД Scopus, начиная с 1970г.

Показать сокращенную информацию

Поиск в электронном архиве


Расширенный поиск

Просмотр

Моя учетная запись

Статистика