ПОВЫШЕНИЕ ЭКСПЛУАТАЦИОННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МАТЕРИАЛОВ ТЕХНИЧЕСКОГО НАЗНАЧЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ ВЫСОКОЧАСТОТНОЙ ПЛАЗМЫ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Abstract

Рассмотрено воздействие высокочастотной плазмы пониженного давления в процессах модификации материалов технического назначения. Обоснована эффективность применения плазменных технологий. Приведены результаты обработки образцов технических материалов в высокочастотной плазме пониженного давления

The impact of low pressure radio frequency plasma in the processes of materials for special purposes modification are considered. The efficiency of the plasma technology application is provided. The results of the materials for special purposes sample processing by a radio frequency low pressure plasma are described.