ИССЛЕДОВАНИЯ ПО ФИЗИКЕ И ПРИМЕНЕНИЮ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ В КАЗАНСКОМ ФЕДЕРАЛЬНОМ УНИВЕРСИТЕТЕ

Abstract

Объектами исследований являются: лазерная плазма, пылевая плазма, образующаяся в процессах получения функциональных покрытий; аномальный тлеющий разряд при пониженном давлении в присутствии реакционного газа; тонкопленочные покрытия, полученные с помощью электроискровой и вибродуговой обработки; тлеющий разряд в поле акустической волны

The objects of research are: laser plasma, dust plasma, formed in the processes of obtaining functional coatings; an anomalous glow discharge under reduced pressure in the presence of a reaction gas; thin-film coatings obtained with the help of electric spark and vibro-arc treatment; glow discharge in the acoustic wave field.