ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ ИОННОГО АЗОТИРОВАНИЯ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА

Abstract

Исследованы вольтамперные характеристики тлеющего разряда в скрещенных электрических и магнитных полях полученные в среде Ar и смеси N2 75% + Ar 20% + C2H2 5% при давлениях 5 Па и 100 Па.

Volt-ampere characteristics of a glow discharge in crossed electric and magnetic fields were obtained in Ar 100% and N2 75% + Ar 20% + C2H2 5% mixture at pressures of 5 Pa and 100 Pa.