МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЛАЗМЫ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА С ПОЛЫМ КАТОДОМ

Abstract

Предложена компьютерная модель плазмы тлеющего разряда с полым катодом. Получены распределения параметров плазмы тлеющего разряда с полым катодом по его сечению при различных напряжениях разряда от 350 до 600 В. Построены вольтамперные характеристики разрядов с полым катодом и с плоским катодом. Установлено, что ток разряда с полым катодом, образованным с помощью сетчатого экрана, в 2-2,5 раза выше по сравнению с током разряда с плоским катодом. Установлено, что в катодной полости, образованным с помощью сетчатого экрана, формируется область с плазмой повышенной плотности с максимумом концентрации ионов в центре полости, что в 1,5-2 раза выше по сравнению с концентрацией ионов у катодной поверхности в традиционном тлеющем разряде при том же давлении и напряжении разряда.

A computer model of plasma of a glow discharge with a hollow cathode is proposed. The distribution of the glow discharge with a hollow cathode plasma parameters by its cross-section at different discharge voltages from 350 to 600 V are received. Volt-ampere characteristics of discharges with a hollow cathode and a flat cathode are built. It is established that the discharge current with a hollow cathode formed by a lattice screen is 2-2.5 times higher in comparison with the discharge current with a flat cathode. It is established that in the cathode cavity formed by a lattice screen, a region with a plasma of increased density with a maximum concentration of ions in the center of the cavity is formed, which is 1.5-2 times higher than the concentration of ions near the cathode surface in a traditional glow discharge at the same pressure and discharge voltage