Kazan Federal University Digital Repository

СВЕРХГЛАДКАЯ ПОЛИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ С ПОМОЩЬЮ УСКОРЕННОГО ИОННО-КЛАСТЕРНОГО ПУЧКА АРГОНА

Show simple item record

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Коробейщиков Н.Г. ru_RU
dc.contributor.author Роенко М.А. ru_RU
dc.contributor.author Николаев И.В. ru_RU
dc.date.accessioned 2018-01-10T12:06:12Z
dc.date.available 2018-01-10T12:06:12Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117388
dc.description.abstract Проведено экспериментальное исследование влияния ускоренного ионно-кластерного пучка аргона на морфологию поверхности различных материалов: нержавеющая сталь, плавленый кварц. Получены зависимости основных параметров амплитудной (среднеквадратичная шероховатость Ra) и латеральной (функция спектральной плотности шероховатости, PSD) шероховатости от дозы облучения и среднего размера кластеров. Показана возможность получения сверхгладких поверхностей с субнанометровой шероховатостью. ru_RU
dc.description.abstract An experimental investigation of the effect of accelerated argon cluster ion beam on the surface morphology of various materials (stainless steel, fused quartz) has been carried out. The dependencies of the main parameters of the amplitude (toot-mean-square roughness, Ra) and lateral (the function of the spectral density of roughness, PSD) roughness on the irradiation dose and the average cluster size were obtained. The possibility of obtaining super-smooth surface with subnanometer roughness is shown. en_US
dc.relation.ispartofseries "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 ru_RU
dc.subject - ru_RU
dc.subject - en_US
dc.title СВЕРХГЛАДКАЯ ПОЛИРОВКА ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛОВ С ПОМОЩЬЮ УСКОРЕННОГО ИОННО-КЛАСТЕРНОГО ПУЧКА АРГОНА ru_RU
dc.title.alternative ULTRA-SMOOTH POLISHING THE SURFACE OF MATERIALS BY AN ACCELERATED ARGON CLUSTER ION BEAM en_US
dc.type article
dc.identifier.udk -
dc.description.pages 250-250


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Statistics