Электронный архив
MODELLING AND CHARACTERIZATION OF ELEMENTARY MICROWAVE PLASMA SOURCES AT MEDIUM PRESSURE (1 TO 50 TORR) FOR HIGH RATE DEPOSITION
- Главная
- →
- Конференции, круглые столы, семинары КФУ
- →
- "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017
- →
- Просмотр элемента
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
Показать сокращенную информацию
| dc.contributor | Казанский (Приволжский) федеральный университет | |
| dc.contributor.author | Ortega A.M. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Bes A. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Bechu S. | ru_RU |
| dc.contributor.author | Lacoste A. | ru_RU |
| dc.date.accessioned | 2018-01-10T09:18:31Z | |
| dc.date.available | 2018-01-10T09:18:31Z | |
| dc.date.issued | 2017 | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117382 | |
| dc.description.abstract | - | ru_RU |
| dc.relation.ispartofseries | "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 | ru_RU |
| dc.subject | - | ru_RU |
| dc.title | MODELLING AND CHARACTERIZATION OF ELEMENTARY MICROWAVE PLASMA SOURCES AT MEDIUM PRESSURE (1 TO 50 TORR) FOR HIGH RATE DEPOSITION | ru_RU |
| dc.type | article | |
| dc.identifier.udk | - | |
| dc.description.pages | 132-132 |
Файлы в этом документе
Данный элемент включен в следующие коллекции
-
"ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 [232]
материалы Всероссийской (с международным участием) конференции "Физика низкотемпературной плазмы" ФНТП-2017 (Казань,5 - 9 июня 2017 г), 05.06.2017-09.06.2017