ИССЛЕДОВАНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ИОННОГО ТОКА В ИМПУЛЬСНОМ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ БОЛЬШОГО ОБЪЕМА

Abstract

Несамостоятельный тлеющий разряд низкого давления с полым катодом позволяет получать концентрацию плазмы величиной 1018 м-3 с высокой равномерностью распределения в объеме камеры более 0.2 м3 [1]. В данной работе проводится исследование влияния таких параметров импульсного несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом большого (≈0.2 м3) объема, как рабочее давление, напряжение горения разряда и амплитуда тока разряда, на форму азимутальных распределений плотности ионного тока и радиальных распределений параметров плазмы (концентрация плазмы, температура электронов, потенциал плазмы). Измерения радиальных распределений параметров плазмы осуществлялись в квазистационарном режиме одиночным цилиндрическим зондом Ленгмюра при изменении рабочего давления в диапазоне (0.4 - 1) Па, при напряжениях горения разряда от 130 до 235 В и амплитудах тока тлеющего разряда от 60 до 125 А. Полученные результаты важны с точки зрения использования плазмы такого разряда для модификации поверхности материалов и изделий.