Kazan Federal University Digital Repository

ИССЛЕДОВАНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ИОННОГО ТОКА В ИМПУЛЬСНОМ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ БОЛЬШОГО ОБЪЕМА

Show simple item record

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Денисов В.В. ru_RU
dc.contributor.author Островерхов Е.В. ru_RU
dc.contributor.author Лопатин И.В. ru_RU
dc.contributor.author Ковальский С.С. ru_RU
dc.contributor.author Коваль Н.Н. ru_RU
dc.contributor.author Щанин П.М. ru_RU
dc.date.accessioned 2018-01-10T09:17:02Z
dc.date.available 2018-01-10T09:17:02Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/117380
dc.description.abstract Несамостоятельный тлеющий разряд низкого давления с полым катодом позволяет получать концентрацию плазмы величиной 1018 м-3 с высокой равномерностью распределения в объеме камеры более 0.2 м3 [1]. В данной работе проводится исследование влияния таких параметров импульсного несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом большого (≈0.2 м3) объема, как рабочее давление, напряжение горения разряда и амплитуда тока разряда, на форму азимутальных распределений плотности ионного тока и радиальных распределений параметров плазмы (концентрация плазмы, температура электронов, потенциал плазмы). Измерения радиальных распределений параметров плазмы осуществлялись в квазистационарном режиме одиночным цилиндрическим зондом Ленгмюра при изменении рабочего давления в диапазоне (0.4 - 1) Па, при напряжениях горения разряда от 130 до 235 В и амплитудах тока тлеющего разряда от 60 до 125 А. Полученные результаты важны с точки зрения использования плазмы такого разряда для модификации поверхности материалов и изделий. ru_RU
dc.relation.ispartofseries "ФИЗИКА НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ" ФНТП-2017 ru_RU
dc.subject - ru_RU
dc.title ИССЛЕДОВАНИЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПЛОТНОСТИ ИОННОГО ТОКА В ИМПУЛЬСНОМ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ НИЗКОГО ДАВЛЕНИЯ С ПОЛЫМ КАТОДОМ БОЛЬШОГО ОБЪЕМА ru_RU
dc.type article
dc.identifier.udk -
dc.description.pages 124-124


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Statistics