Амиров И.И.; Изюмов М.О.; Мазалецкий Л.А.
(2017)
Представлены результаты исследования самоформирования наноструктур на поверхности Si в процессах распыления пленки Co и переосаждения атомов Ti, распыляемых с поверхности Ti подложки в плотной аргоновой плазме ВЧ индукционного ...