Сенников П.Г.; Корнев Р.А.
(2017)
Рассмотрены основные стадии ВЧ и СВЧ плазмохимической водородной конверсии изотопно-обогащенных летучих неорганических фторидов кремния, германия, серы, молибдена и бора в элементарные формы, а для кремния, молибдена и ...