Mathematical simulation of capacitivecoupled radio-frequency discharge when high and low the pressure in the argon: synopsis of dissertation: 01.02.05 - Mechanics of fluid, gas and plasma: 05.13.18 - Mathematical simulation, numerical methods and complexes of programs

dc.contributor.author	Chebakova V. Y. (Violetta Yuryevna)
dc.date.accessioned	2016-11-15T02:23:45Z
dc.date.available	2016-11-15T02:23:45Z
dc.identifier.other	Физико - математические науки
dc.identifier.uri	http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/107693
dc.language.iso	En
dc.publisher	Казань Казанский федеральный университет 2016
dc.subject.other	Плазма(физ.) высокочастотного разряда -- Авторефераты диссертаций
dc.title	Mathematical simulation of capacitivecoupled radio-frequency discharge when high and low the pressure in the argon: synopsis of dissertation: 01.02.05 - Mechanics of fluid, gas and plasma: 05.13.18 - Mathematical simulation, numerical methods and complexes of programs
dc.type	eBook
dc.collection	Основной каталог
dc.source.id	RU05CLSL05CBOOKS030205C31955
dc.subject.codVAK	01.02.05

Файлы в этом документе

Размер: 71.32Kb

Формат: PDF

Авторефераты диссертаций [18888]
Коллекция содержит авторефераты диссертаций, защищенных в Казанском федеральном университете (до 2009 г. Казанский государственный университет)