Абдуллин Ильдар Шаукатович; Желтухин Виктор Семенович; Чебакова Виолетта Юрьевна; Шнейдер Михаил Наумович
(2013)
В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном ...