Kazan Federal University Digital Repository

О математических моделях высокочастотного емкостного разряда

Show simple item record

dc.contributor Казанский (Приволжский) федеральный университет
dc.contributor.author Чебакова Виолетта Юрьевна ru_RU
dc.contributor.author Желтухин Виктор Семенович ru_RU
dc.date.accessioned 2016-05-27T09:09:40Z
dc.date.available 2016-05-27T09:09:40Z
dc.date.issued 2013
dc.identifier.uri http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/51928
dc.description.abstract Проведен анализ математических моделей, а также данных экспериментальных исследований высокочастотного емкостного (ВЧЕ) разряда. В настоящие время созданы и исследованы модели, подробно описывающие свойства ВЧЕ-разрядов при межэлектродных расстоя\-ни\-ях порядка 3-5 см. При таких межэлектродных расстояниях нагрев газа не играет существенной роли в балансе рождения и гибели заряженных частиц в разряде. Свойства ВЧЕ-разряда при больших межэлектродных расстояниях (больших 10 см) практически не исследованы. При таких расстояниях существенную роль в поддержании разряда играет нагрев газа. Существующие модели не учитывают потери энергии на возбуждение атомов и нагрев газа. Кроме того, они неприменимы в случае сильных полей, так в этом случае частота ионизации монотонно нарастает с ростом отношения напряженности электрического поля к давлению, тогда как в очень сильных полях ионизационная способность с ростом поля падает. В связи с этим для определения диапазона устойчивого горения ВЧЕ-разряда пониженного давления в плазмотроне с большим межэлектродным расстоянием математическую модель необходимо дополнить уравнениями, учитывающими перенос энергии электронами и нагрев газа. ru_RU
dc.relation.ispartofseries Труды Математического центра имени Н.И. Лобачевского. Том 48 ru_RU
dc.subject математическая модель ru_RU
dc.subject высокочастотный емкостный разряд ru_RU
dc.subject низкотемпературная плазма ru_RU
dc.subject большое межэлектродное расстояние ru_RU
dc.subject конечнно-разностный метод ru_RU
dc.title О математических моделях высокочастотного емкостного разряда ru_RU
dc.type article
dc.identifier.udk 537.525.7+621.762
dc.description.pages 98-128


Files in this item

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account

Statistics